| 装置導入時の品質保証高度化要求（装置ＱＡの高度化） |
| Request on Enhanced Equipment Quality Assurance upon Equipment Installation(EEQA) |
| 社団法人電子情報技術産業協会（ＪＥＩＴＡ）の半導体生産技術専門委員会・e-Manufacturing小委員会では、2000年から装置生産性向上のため、EES(Equipment Engineering System)のガイドライン作成に取り組みました。その後、Seleteと共同で装置メーカ、ソフトメーカとプロトタイプやEES仕様の整備を促進して参りました。昨年から委員会メンバー各社でEESが利用され出したことを受けて、2003年度に当面のEES利用方向を絞り込む活動をしてまいりました。今回、上記ドキメントを掲載して、EESの初期利用方法として重要な「装置導入時の品質保証高度化」への利用促進を図りたいと考えております。デバイスメーカ、装置メーカ、ソフトメーカの方々に広く読んで頂き、利用して頂くことを期待します。 |
| 2004/5/6 装置ＱＡドキュメント ＜＜PDF[*.pdf(832KB)] ＞＞ | |
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